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Cu互連阻擋層研究
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Cu互連阻擋層研究
djxgreat
創(chuàng)建于2011-11-11
最后編輯: 2011-11-11 11:11
9,244閱讀
Cu互連阻擋層研究
共 4 個文檔
70p
pdf
集成電路CU互連工藝中W基擴散阻擋層研究
集成電路CU互連工藝中W基擴散阻擋層研究
作者:
Hemuchengxi
2011-05-08
格式: PDF
收藏到書房
150p
pdf
集成電路銅互連工藝中先進擴散阻擋層的研究(博士論文)
隨著集成電路器件尺寸的持續(xù)縮小,互連延遲越來越成為制約集成電路發(fā)展的瓶頸問題。在32nm及以下技術節(jié)點,互連工藝中磁控濺射制備的Ta/TaN雙層結構擴散阻擋層和銅籽晶層由..
作者:
948265406
2011-04-13
格式: PDF
收藏到書房
80p
pdf
集成電路銅互連中鉭硅氮擴散阻擋層的制備及其阻擋特性研究
集成電路銅互連中鉭硅氮擴散阻擋層的制備及其阻擋特性研究
作者:
DodoDown
2010-04-15
格式: PDF
收藏到書房
81p
pdf
新一代集成電路Cu互連用Ta基擴散阻擋層的制備及特性研究
暫無描述
作者:
拉拉
2011-05-03
格式: PDF
收藏到書房
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